Microelectromechanical systems (MEMS)
Microelectromechanical systems (MEMS, also written as micro-electro-mechanical, MicroElectroMechanical or microelectronic and microelectromechanical systems and the related micromechatronics) is the technology of very small devices; it merges at the nano-scale into nanoelectromechanical systems (NEMS) and nanotechnology. MEMS are also referred to as micromachines in Japan, or micro systems technology (MST) in Europe.
МЭМС (MEMS) - Микроэлектромеханические системы устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. MEMS (Microelectromechanical systems) - это множество микроустройств самой разнообразной конструкции и назначения, в производстве которых используются модифицированные технологические приемы микроэлектроники. Действительно, микроэлектромеханические системы получаются путем комбинирования механических элементов, датчиков и электроники на общем кремниевом основании посредством технологий микропроизводства.
Все элементы могут быть реализованы в виде единого изделия, причем сразу десятками или сотнями, как микросхемы на кремниевой пластине. В основе этого лежит апробированная традиционная технология производства полупроводниковых интегральных микросхем. MEMS уже используются в нишевых приложениях, таких, как пассивные фильтры высокой частоты в терминалах беспроводной и сотовой связи, системы подвижных зеркал для мультимедийных проекторов, микрофоны. Число этих ниш и их размер растет сообразно рыночным потребностям.
Механическим компонентом может быть миниатюрное зеркальце— элемент системы сканирования, либо примитивный инерциальный датчик, способный определить характерные движения, которые пользователь проделывает со своим устройством.
МЭМС-устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки, аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных микросхем. Типичные размеры микромеханических элементов лежат в диапазоне от 1 микрометра до 100 микрометров, тогда как размеры кристалла МЭМС-микросхемы имеют размеры от 20 микрометров до одного миллиметра.
